特種氣體在實驗和工業(yè)生產(chǎn)中比較常見，那么特種氣體常見的種類有哪些，特種氣體儲存在哪里，特種氣體使用過程是怎么的?

　　特種氣體種類

　　特種氣體主要有 SiH4、PH3、B2H6、A8H3、CL、HCL、CF4、NH3POCL3、SIH2CL2、 SIHCL3、NH3、BCL3、SIF4、CLF3、CO、C2F6、N2O、F2、HF、HBR、SF6等。其中大多數(shù)是腐蝕性、有毒和可燃氣體。

　　特種氣體儲存和使用過程

　　1.對于腐蝕性、有毒和可燃氣體，鋼瓶通常被設(shè)計成放置在特殊的氣體柜中(特氣柜)。

　　2.然后，特種氣體通過管道供應(yīng)到現(xiàn)場附近的閥門箱(VMB)。

　　3.然后進入制程機的POU使用點。

　　4.在進入機臺腔體之前，有獨立的氣體控制面板(GB，Gas Box)將連接到過程控制模塊，以控制進氣的流量控制和進氣混合比例。

　　5.通常，這種氣體控制面板不屬于工廠管理系統(tǒng)的設(shè)計范疇，而是屬于加工機械設(shè)備的一部分。普通惰性氣體由開放式氣體架和閥門歧管板提供。